深圳中科飞测科技股份有限公司是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司，自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内 28nm 及以上制程的集成电路制造产线。| 股票代码 | 688361 |
| 股票简称 | 中科飞测 |
| 上市板块 | 上交所科创板 |
| 发行价格(元/股) | 23.60 |
| 发行市盈率 | - |
| 网上发行股数(股) | 19,245,500 |
| 网下配售数量(股) | 45,207,893 |
| 总发行数量(股) | 80,000,000 |
| 网上发行中签率(%) | 0.04758467 |
| 募集资金总额(亿元) | 18.88 |
| 保荐人(主承销商) | 国泰君安 |
| 预先披露日期 | 2021-12-22 |
| 上市委会议通过日期 | 2022-06-16 |
| 提交注册日期 | 2022-07-26 |
| 同意注册日期 | 2023-02-21 |
| 刊登发行公告日期 | 2023-04-27 |
| 网上路演日期 | 2023-05-09 |
| 网上发行日期 | 2023-05-10 |
| 中签号公布日期 | 2023-05-12 |
| 上市日期 | 2023-05-19 |
| 公司名称 | 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 英文名称 | Skyverse Technology Co., Ltd. |
| 成立日期 | 2014年 12月 31日（股份公司设立2020年 12月 29日） | 注册资本(人民币万元) | 24,000 |
| 法人代表 | CHEN LU（陈鲁） | 证监会行业分类 | C35 专用设备制造业 |
| 雇员总数(人) | 386（截止2021年6月30日） | 总经理 |
CHEN LU（陈鲁）
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| 董事会秘书 | 古凯男 | 证券事务代表 | |
| 注册地址 |
深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区 2 号 101、201、301
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办公地址 | 深圳市龙华区观澜街道观光路银星科技园 1301号 |
| 邮编 | 518110 | 电话 | 0755-2641 8302 |
| 传真 | 0755-2319 9950 | 公司网址 | http://www.skyverse.cn |
| 电子邮件 | IR@skyverse.cn | 保荐代表人 | 田方军、寻国良 |
| 会计师事务所 | 天职国际会计师事务所（特殊普通合伙） | 经办会计师 | 刘智清、李海、倪淏然 |
| 律师事务所 | 北京市君合律师事务所 | 经办律师 | 魏伟、黄炜 |
| 资产评估机构 | 中联资产评估集团有限公司 | 经办评估人员 | 余衍飞、李爱俭 |
| 发行费用概算(万元) | 其中信息披露费用(万元) |
| 公司简介 |
公司是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司，自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内 28nm 及以上制程的集成电路制造产线。
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| 主营业务 |
专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。
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| 筹集资金将用于的项目 | 序号 | 项目 | 投资金额(万元) |
| 1 | 高端半导体质量控制设备产业化项目 | 30,895.84 | |
| 2 | 研发中心升级建设项目 | 14,563.06 | |
| 3 | 补充流动资金 | 55,000.00 | |
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| 投资金额总计 | 100,458.90 | ||
| 序号 | 股东名称 | 持股数量(股) | 占总股本比例(%) |
| 1 | 苏州翌流明 | 37,800,963 | 15.75 |
| 2 | 国投基金 | 36,465,943 | 15.19 |
| 3 | 小纳光 | 18,855,937 | 7.86 |
| 4 | 哈承姝 | 16,643,853 | 6.93 |
| 5 | 芯动能 | 15,382,835 | 6.41 |
| 6 | 岭南晟业 | 14,564,419 | 6.07 |
| 7 | 前海博林 | 13,334,490 | 5.56 |
| 8 | 中科院微电子所 | 11,604,106 | 4.84 |
| 9 | 物联网二期 | 10,226,754 | 4.26 |
| 10 | 深创投（CS） | 9,789,934 | 4.08 |
| 合计 | 184,669,23 | 76.95 | |
|---|---|---|---|
| 序号 | 公司名称 | 简要介绍 |
| 1 | 科磊半导体 |
KLA Instruments 和 Tencor Instruments 相继成立于 1976年和 1977年，并于
1997 年合并成立科磊半导体，总部位于美国硅谷。该公司聚焦于检测设备的研
发、生产和销售，其产品线涵盖了质量控制全系列设备。
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| 2 | 应用材料 |
应用材料成立于 1967 年，总部位于美国硅谷。该公司主要提供刻蚀设备、
离子注入机、化学气相沉积设备（CVD）、物理气相沉积设备（PVD）、化学机
械抛光设备（CMP）、晶圆检测和测量等各类半导体设备。
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| 3 | 创新科技 |
Rudolph Technologies, Inc.和 Nanometrics Incorporated 分别成立于 1940 年和
1975 年，并于 2019 年合并成立创新科技，总部位于美国麻萨诸塞州。该公司
主要产品与服务涵盖关键尺寸量测设备、薄膜膜厚量测设备、三维形貌量测设
备、缺陷检测设备，以及半导体制程控制软件等产品。
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| 4 | 新星测量仪器 |
新星测量仪器成立于 1993 年，总部位于以色列雷霍沃特。该公司产品主要
为半导体量测设备，包括关键尺寸测量、薄膜膜厚测量、材料性能测量等，通
过综合应用 X 射线、光学技术、软件建模等技术，为半导体制造企业提供专业
的过程控制解决方案。
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| 5 | 康特科技 |
康特科技成立于 1987 年，总部位于以色列米格达勒埃梅克。该公司是半导
体行业高端检测和量测设备的制造商，其产品应用于前道、先进封装等领域，
为众多行业内领先的全球 IDM、OSAT 和代工厂提供服务。
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| 6 | 帕克公司 |
帕克公司成立于 1988 年，总部位于韩国水原市。该公司主要致力于纳米领
域的形貌、力学量测和半导体先进制程领域的检测，主要生产的原子力显微镜
（AFM）系列产品所提供的高纳米级分辨率和高灵敏度可以满足纳米级电学特
性表征的要求，并可提供全自动的晶圆缺陷检测和识别服务。
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| 7 | 上海睿励 |
上海睿励成立于 2005 年，总部位于中国上海。该公司致力于集成电路生产
前道工艺检测领域设备研发和生产，产品主要为光学膜厚测量设备和光学缺陷
检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等。
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| 8 | 上海精测 |
上海精测成立于 2018 年，总部位于中国上海。该公司主要聚焦半导体前道
检测设备领域，以椭圆偏振技术为核心开发了适用于半导体工业应用的膜厚测
量以及光学关键尺寸量测系统的产品。
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| 序号 | 客户名称 |
| 1 | 客户 A |
| 2 | 中芯国际 |
| 3 | 华天昆山 |
| 4 | 中芯绍兴 |
| 5 | 长电先进 |
| 序号 | 供应商名称 |
| 1 | 乐孜公司 |
| 2 | 供应商 A |
| 3 | 华卓精科 |
| 4 | 滨松光子学 |
| 5 | 志强视觉 |
| 财务指标/时间 | 2021年6月 | 2020年12月 | 2019年12月 | 2018年12月 |
| 总资产(元) | 810,408,591.79 | 652,458,215.70 | 390,392,625.35 | 146,339,969.99 |
| 净资产(元) | 487,342,562.20 | 497,080,306.44 | 258,740,444.07 | 86,740,949.52 |
| 少数股东权益(元) | ||||
| 营业收入(元) | 56,599,147.62 | 237,587,673.47 | 55,983,680.09 | 29,850,760.85 |
| 净利润(元) | -11,064,944.29 | 39,585,113.87 | -97,468,796.77 | -55,657,262.94 |
| 资本公积(元) | 216,627,482.97 | 215,354,782.33 | 403,918,254.91 | 151,150,279.38 |
| 未分配利润(元) | 30,526,554.96 | 41,591,499.25 | -218,439,431.51 | -120,970,634.74 |
| 基本每股收益(元) | -0.05 | 0.34 | - | - |
| 稀释每股收益(元) | -0.05 | 0.34 | - | - |
| 每股现金流(元) | -0.17 | -0.36 | - | - |
| 净资产收益率(%) | -2.25 | 12.02 | -155.35 | -58.84 |
